真空灭弧室早在19世纪就出现了，那是在1893 年，由美国人里顿豪斯设计出世界上第1 只真空灭弧室。随后在1920年，瑞典佛加公司研制出世界上第一台真空开关;而在1956年，罗斯对杰宁公司生产的用于高频回路的真空开关进行改造，试制出15kV、200A的真空开关。而对于我国，发展还是相对较晚的，在1968年才诞生了我国第一只商用真空灭弧室，在1978年后，国内有10多家工厂正式投入生产，如此才有现在蓬勃向上的状况。