真空断路器是以在真空中熄弧为特点，但不是在任何真空度下都可以，而是在某一定真空度范围内才具有良好的绝缘和灭弧性能。真空是良好的绝缘体。气体压力越低，绝缘性能越好。当气体压力在0.01PA以上时，气体间隙的绝缘强度还不高。此时有许多气体原子通过开断电弧，会产生大量的载流子，当压力低于0.01PA时，气体原子不再足以形成开断电弧。但是当压力低于10-8Pa时，真空的绝缘能力又会下降。因为当压力低到10-8Pa时，电子很容易从金属电极中逸出。因之，真空开关中的真空度应保持在10-2～10-8Pa范围内。因为电弧中的载流子很少，故电极开距虽只有几毫米，但也能熄灭电弧。在大多数情况下，电极开距约为10mm左右，此时的电弧载流子由触头的金属粒子组成。
我国的真空技术已能保证真空开关需要的真空度，而且封接技术可保证不漏气，保持真空度。